1.機械方面
(1)電機兩端和絲杠軸承座上的軸承磨損后間隙過大，或者軸承缺少潤滑脂后軸承滾動體和保持架磨損嚴重造成負載過重。軸承磨損后間隙過大會造成電機轉子中心和絲杠中心存在同軸度誤差，使機械系統產生抖動。軸承滾動體和保持架磨損嚴重會造成摩擦力增加導致“堵轉”，堵轉“在不至于導致“過載報警”的情況下，由于負載過重，會增加伺服系統的響應時間產生振動:
(2)電機轉子不平衡，電機轉子的動平衡制造時有缺陷或使用后變差，就會產生形如”振動電機”一樣的振動源;
(3)轉軸彎曲，轉軸彎曲的情況類似于轉子不平衡，除了會產生振動源也會產生電機轉子中心和絲杠中心的同軸度誤差，使機械傳動系統產生抖動;
(4)聯軸器制造缺陷或使用后磨損會造成聯軸器兩部分的同軸度誤差， 特別是使用鑄造的剛性聯軸器，由于本身的制造精度差，更容易產生同軸度誤差導致振動;
(5) 導軌的平行度在制造時較差會導致伺服系統無法到達指定位置到無法停留在指定位置，這時間服電機會不停的在努力尋找位置和系統反饋問徘徊，使電機連續的振動;
(6)絲杠與導軌平面的平行度誤差，絲杠在安裝過程中與導軌所在平面有平行度誤差也會使電機由于負載不均勻產生振動;
(7) 絲杠彎曲，絲杠彎曲后絲杠除了受到軸向推力外還會受到變化的徑向力，彎曲大時徑向力大，彎曲小時徑向力小，同樣這種不應該存在的徑向力也會使機械傳動系統產生振動。3
2.電氣方面
導致交流伺服電機電氣方面的原因主要是伺服驅動器的參數調整上 。
(1)負載慣量，負載慣量的設置一 般與負載的大小有關， 過大的負載慣量參數會使系統產生振動，一般的交流伺服電機可以自動測量系統的負載慣量;
(2) 速度比例增益，設置值越大，增益越高，系統剛度越大，參數值根據具體的伺服驅動器型號和負載情況確定，一般情況下，負載慣量越大，設定值越大，在系統不產生振動的情況下，設定值盡量較大，但是增益越大，偏差越小，越容易產生振動;
(3)速度積分常數，一般情況下負載慣量越大，設定值越大，系統不產生振動的情況下，設定值盡量較小，但是降低積分增益會使機床響應遲緩，剛性變差;
(4)位置比例增益，設置值越大，增益越高，剛度越大，相同頻率指令脈沖條件下，位置滯后量越小，數值太大可能會引|起電機振動;
(5) 加速度反饋增益，電機不轉時，很小的偏移會被速度環的比例增益放大，速度反饋產生相應的轉矩，使電機來回抖動。
